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Crucial Issues In Semiconductor Materials And Processing Technologies (Cód: 6324991)

S. Coffa; F. Priolo; Emanuele Rimini

SPRINGER VERLAG POD

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Descrição

Semiconductors lie at the heart of some of the most important industries and technologies of the twentieth century. The complexity of silicon integrated circuits is increasing considerably because of the continuous
dimensional shrinkage to improve efficiency and functionality. This evolution in design rules poses real challenges for the materials scientists and processing engineers. Materials, defects and processing now have to be
understood in their totality. World experts discuss, in this volume, the crucial issues facing lithography, ion implication and plasma processing, metallization and insulating layer quality, and crystal growth. Particular
emphasis is placed upon silicon, but compound semiconductors and photonic materials are also highlighted. The fundamental concepts of phase stability, interfaces and defects play a key role in understanding these crucial
issues. These concepts are reviewed in a crucial fashion.

Características

Produto sob encomenda Sim
Marca SPRINGER VERLAG POD
Cód. Barras 9780792320036
Altura 23.40 cm
I.S.B.N. 9780792320036
Profundidade 3.18 cm
Referência 9780792320036
Ano da edição 1992
Idioma Inglês
Número de Páginas 564
Peso 0.91 Kg
Largura 15.60 cm
AutorS. Coffa; F. Priolo; Emanuele Rimini

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