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Handbook of Chemical Vapor Deposition (Cód: 3053037)

Pierson, Hugh O.

William Andrew

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Descrição

Handbook of Chemical Vapor Deposition: Principles, Technology and Applications provides information pertinent to the fundamental aspects of chemical vapor deposition. This book discusses the applications of chemical vapor deposition, which is a relatively flexible technology that can accommodate many variations.Organized into 12 chapters, this book begins with an overview of the theoretical examination of the chemical vapor deposition process. This text then describes the major chemical reactions and reviews the chemical vapor deposition systems and equipment used in research and production. Other chapters consider the materials deposited by chemical vapor deposition. This book discusses as well the potential applications of chemical vapor deposition in semiconductors and electronics. The final chapter deals with ion implantation as a major process in the fabrication of semiconductors.This book is a valuable resource for scientists, engineers, and students. Production and marketing managers and suppliers of equipment, materials, and services will also find this book useful.

Características

Produto sob encomenda Sim
Marca William Andrew
Cód. Barras 9780815513001
Altura 0.00 cm
I.S.B.N. 9780815513001
Profundidade 0.00 cm
Acabamento Capa dura
Sub-Título Principles, Technology and Applications
Número da edição 1
Ano da edição 1/1/1999
Idioma Inglês
Número de Páginas 458
Peso 0.44 Kg
Largura 0.00 cm
AutorPierson, Hugh O.

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