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Materials And Processes For Submicron Technologies (Cód: 3049706)

"martinez-duart,J.m.; Madar, R.; Levy, R.a."

Elsevier Science

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Descrição

The European Materials Society decided to hold a Symposium entitled Materials and Processes for Submicron Technologiesin June 16-19, 1998, within the yearly E-MRS Spring Meeting in Strasbourg, France. The purpose of this meeting was to discuss the results of the advances in microelectronic devices directly relating to the reduction in size of features of the devices down to submicron size. When electronic materials are patterned to these small sizes, their physico-chemical properties show many aspects (interdiffusion, electromigration, etc.), many of these not well known yet. The articles presented in this volume, 28 in number, are representative of the 40 papers accepted for this particular E-MRS Meeting (Symposium N).

Características

Produto sob encomenda Sim
Marca Elsevier Science
Cód. Barras 9780080436173
Altura 0.00 cm
I.S.B.N. 9780080436173
Profundidade 0.00 cm
Acabamento Capa dura
Número da edição 1
Ano da edição 3/11/1999
Idioma Inglês
Peso 0.44 Kg
Largura 0.00 cm
Autor"martinez-duart,J.m.; Madar, R.; Levy, R.a."

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