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Semiconductor Process Reliability in Practice (Cód: 9649980)

Liou,Juin J.; Zhenghao Gan; Juin Liou; Waisum Wong

McGraw-Hill Education, LLC (Prof C/S) (Livros Digitais)

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Semiconductor Process Reliability in Practice

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Descrição

Proven processes for ensuring semiconductor device reliability

Co-written by experts in the field, Semiconductor Process Reliability in Practice contains detailed descriptions and analyses of reliability and qualification for semiconductor device manufacturing and discusses the underlying physics and theory. The book covers initial specification definition, test structure design, analysis of test structure data, and final qualification of the process. Real-world examples of test structure designs to qualify front-end-of-line devices and back-end-of-line interconnects are provided in this practical, comprehensive guide.

Coverage includes:

Basic device physics

Process flow for MOS manufacturing

Measurements useful for device reliability characterization

Hot carrier injection

Gate-oxide integrity (GOI) and time-dependent dielectric breakdown (TDDB)

Negative bias temperature instability

Plasma-induced damage

Electrostatic discharge protection of integrated circuits

Electromigration

Stress migration

Intermetal dielectric breakdown

Características

Produto sob encomenda Não
Marca McGraw-Hill Education, LLC (Prof C/S) (Livros Digitais)
Cód. Barras 9780071754286
Acabamento e-book
Início da Venda 06/10/2012
Territorialidade Internacional
Formato Livro Digital Epub
Gratuito Não
Tamanho do Arquivo 62145
Proteção Drm Sim
Idioma 337
Código do Formato Epub
Número de Páginas 624 (aproximado)
Ano da Publicação 2012
Peso 0.00 Kg
AutorLiou,Juin J.; Zhenghao Gan; Juin Liou; Waisum Wong